产品型号：JSD400有机金属蒸发镀膜系统
特点：JSD400即有机+金属蒸发镀膜+连接手套箱设备，是在真空条件下通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，主要用于有机半导体材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验及OLED、OPV等实验研究。该设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
主要技术参数：
1、真空室：尺寸为L400*W400*H450mm；
2、样品盘尺寸： ≤150*150mm，也可根据客户的实际实验要求定制掩模板；
3、极限真空度： 优于5*10-5Pa；
4、抽气时间：大气压~5*10-4Pa小于30min（充保护气体）；
真空蒸发组件主要配置：
项目 | 单位 | 数量 | 规格 | 备注 |
蒸 发 室 | 蒸发真空室 | 只 | 1 | 400*400*550 | 尺寸根据设计要求适当调整 |
不锈钢管路、管接头 | 批 | 1 |
| 各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头 |
蒸发源 | 套 | 4 |
| 电阻式蒸发源2组金属，2组有机 |
蒸发电源 | 套 | 4 |
| 2套蒸发电源、2套有机电源 |
转动基片架 | 套 | 1 |
| 基片旋转，步进电机+磁流体， |
升降装置 | 套 | 1 |
| 基片升降,带距离显示,焊接波纹管 |
样品水冷 | 套 | 1 | 直径150mm | 与样品加热不可同时使用 |
样品加热 | 套 | 1 | 直径150mm | ≤500度（可选或预留） |
真空系统 | 超高真空主阀 | 只 | 1 | CF200 | 连接真空室和主泵（气动） |
分子泵 | 台 | 1 | 1200L/S |
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机械泵 | 台 | 1 | BSV30 | 兼起预抽泵和前级泵作用30m3/h 装置油气过虑器 |
挡板阀 | 只 | 1 | KF40 | 预抽管道通断（气动） |
放气阀 | 只 | 1 |
| （气动） |
截止阀 | 只 | 2 | KF40 | 预抽（气动） |
安装机台 | 设备机架 | 套 | 1 |
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真空测量 | 全量程真空计 | 套 | 1 | PTR90N | 量程范围：1.0*10-6Pa——大气 |
膜厚测量 | 膜厚仪 | 套 | 1 | SQM310 | 进口 含探头2套 |
控制系统 | 镀膜软件控制 | 套 | 1 |
| 主要控制： 1、薄膜沉淀 2、基础结构处理 3、源顺序 4、泵顺序 |
电气控制 | 电器控制 | 套 | 1 |
| 整套系统的控制电路板一套 相关的电路接头及数据信号线 |
水冷系统 | 水冷机 | 批 | 1 |
| 循环水系统 |