产品型号：JSD500电子束蒸发镀膜系统
特点：该系统为单真空室配置，真空室尺寸500×500×H600 mm（根据设计需要适当调整），腔体采用304不锈钢加工而成，内表面抛光，外表面喷丸处理。为便于实验操作采用侧开门形式，抽气口后置，门上配备玻璃观察窗（含防污染挡板），镀膜过程在该真空室内完成。
该设备可以用于蒸镀半导体、金属膜，纳米级单层及多层功能膜。
该设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
主要技术参数：
1、真空室：
1.1、真空室内腔尺寸： 500×500×H600 mm
1.2、真空室材料：采用 SUS304 不锈钢材料制造，内表面抛光，外表面喷丸处理；极限真空度高。
2、工件架旋转与烘烤：
2.1、采用调速电机调节转速、磁流体密封；3 到 60rpm 无级调速，
2.2、样品托盘尺寸分别为：可放置210*210mm样片
3、蒸发源：
电子束蒸发源：采用超高真空E型电子枪；
4、真空抽气系统：复合分子泵与控制电源：可达5×10-5Pa，真空漏率≤10-7Pa.l/s，真空室从大气到抽到≤5.0×10-4Pa，小于30min，真空腔室的升压率不超过 0.75 Pa/h。
主要配置：
项目 | 单位 | 数量 | 规格 | 备注 |
真空室组件 | 真空室 | 只 | 1 | 500×500×H600 mm | 尺寸会适当调整，前开门结构， |
基片架 | 套 | 1 |
| 含升降、旋转等功能。丝杆+波纹管+磁流体+步进电机等 |
样品台 | 套 | 1 | 210*210mm | 水冷处理，悬挂式结构 |
气动插板阀 | 只 | 1 | CF250 | 用于真空室和主泵之间连接 关闭后分子泵不停机可打开腔室 |
分子泵 | 台 | 1 | 1600L/S | 沉积室主泵 |
机械泵 | 台 | 1 | 15L/S | 预抽+前级 |
预抽阀 | 只 | 1 | DN40 | 预抽管道通断 |
截止阀 | 只 | 1 | SJ1R-S6G01 | 用于控制气体通断 |
照明装置 | 套 | 1 |
| 含陶封电极与电源 |
各型法兰及观察窗 | 批 |
| DN16、35、63、100、150、200 | 含防辐射铅玻璃 |
不锈钢管路、管接头 | 批 | 1 |
| 各种精密不锈钢管、波纹管、管接头 |
截止阀 | 只 | 1 | DN40 |
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放气阀 | 只 | 1 | DN40 |
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其它阀门 | 批 | 1 |
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真空测量 | 数显复合真空计 | 台 | 1 | NYGF-Ⅱ |
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规管 | 套 | 1 | ZJ27,ZJ52 | 全部为金属规管 |
蒸发装置 | 电子枪 | 套 | 1 | 六工位(可选四工位）水冷坩埚 | 配套10KW电源 |
电阻蒸发源 | 套 | 2 |
| 可共蒸 |
蒸发电源 | 套 | 2 | 3 |
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蒸发挡板 | 套 | 2 |
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其它 | 膜厚仪 | 套 | 1 | SQC310 | 含2套水冷探头 |
电气控制柜 | 套 | 1 |
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控制系统 | 套 | 1 | PLC+触摸屏+Win | 一键式抽真空 可在触摸屏或Win操作软件上进行操作 |
设备机架 | 套 | 1 |
| 不锈钢拉丝面板 |
标准件、配件、附件 | 套 | 1 |
| 产品相关的金属密封铜圈及氟橡胶密封圈 1套 电子枪灯丝 5只 |