主要参数指标：
1. 极限真空：≤5E-6Pa；
2. 镀膜均匀性：直径4英寸范围内均匀性≤2%。镀膜重复性：批次间重复性≤2%
3. 漏率：≤6E-3Pa.L/s
4. 配有晶振控制器、数量≥1套；六探头晶振探测器，数量≥1套，六个晶振探头可自动切换
注：我公司设备铭牌包括：设备名称、型号规格、生产厂家、出厂编号、出厂日期、设备重量、设备总功率、设备外形尺寸等信息
自动控制系统：
1.控制系统为PC+PLC控制模式，具备手动和全自动两种模式；
2.针对不同操作人员配置不同操作权限；操作可分级别的数量≥4个；
3.配置互锁及防误触设计
4.加热除配有软件控制外，并补充配置了抗干扰的硬件配置，来保证温度使用的稳定性和安全性，其中设备外感环境安全保护温度设置值≥65℃，设备会自动切断设备的工艺温度的运行